СПЕКТРАЛЬНИЙ АНАЛІЗ І ЙОГО ЗАСТОСУВАННЯ В СУЧАСНИХ ТЕХНОЛОГІЯХ МІКРОЕЛЕКТРОНІКИ
DOI:
https://doi.org/10.30888/2709-2267.2022-11-01-024Ключові слова:
спектральний аналіз, мікроелектроніка, плівки германію, spectral analysis, microelectronics, germanium filmsАнотація
В роботі коротко розглянуто основні сучасні методи спектрального аналізу. Показано застосування масс-спектрального аналізу для визначення елементного складу плівок Ge на підкладках GaAs. Встановлено рівні концентрації Ga та As в цих плівках. The paper briMetrics
Посилання
S. A. Mulenko, N. T. Gorbachuk. Synthesis of nanometric iron oxide films by RPLD and LCVD for thermo–photo sensors . Applied Physics B: Lasers and Optics, v.105, #3, 2011, pp.517-523
N.Gorbachuk, M.Larionov, A.Firsov, N.Shatil. Semiconductor Sensors for a Wide Temperature Range. Sensors & Transducers Journal and Magazine, Vol. 162, Issue 1, January 2014, pp.1-4
Applied Optics. Spectral devices and methods of spectral measurements. O. V. Makarenko et al.; for general information. edited by Professor L. V. Poperenko. – K.: Pulsars, 2013, -254 p.
N.T.Gorbachuk, I.M.Protas, Y.M.Schwartz. Doping by heterodiffusion of germanium films on gallium arsenide. Ukrainian Physical Journal, vol.29, No.4, 1984, pp.619-621
Опубліковано
Як цитувати
Ліцензія
Авторське право (c) 2022 Автори
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
